等离子体与成膜基础
删除本页内容作者:（日）小沼光晴著；张光华编译
关键词:等离子体物理学∶薄膜物理学 薄膜物理学∶等离子体物理学
页数:239
出版社: 北京：国防工业出版社
出版日期:1994.06
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