微观形貌测量技术

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作者:惠梅著

ISBN:1978-7-5682-6547-82

关键词:表面形貌学-光学测量

页数:296

出版社: 北京：北京理工大学出版社

出版日期:2018.12

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图书简介

本书涵盖了表面微观形貌测量的主要设计理论，对微观形貌的光学测量方法-相移干涉显微测量技术，展开了全面、系统的理论与实验研究论述。针对相移干涉算法，即相位提取算法和相位去包裹算法的理论进行了系统的阐述。在干涉显微镜的基础上，应用新提出和发展的算法编制的软件，进行了被测物体的相位计算以及截断位相的整体恢复，进一步提高了微观表面形貌的测量精度和测量可靠性、提高了测量系统的整体性能指标。对测量过程中出现的相位截断现象，应用传统相位去包裹法解决了原理包裹问题。应用算法解决了噪声包裹导致的相位突跳，恢复了物

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