集成电路工艺基础
作者: 王阳元等编著
关键词: 集成电路工艺(学科: 高等学校 学科: 教材)
页数:610
出版社: 北京:高等教育出版社
出版日期:
发现《集成电路工艺基础》在 2023-06-06 可全文阅读或下载。
图书简介
本书主要内容有:硅晶体结构,扩散、离子注入、外延、氧化、化学汽相淀积、光刻、刻蚀等十二章。
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