MEMS技术及其应用
作者： 李德胜等编著
关键词： 微电机
页数：301
出版社： 哈尔滨：哈尔滨工业大学出版社
出版日期：
发现《MEMS技术及其应用》在 2023-07-29 可全文阅读或下载。
图书简介
国家自然科学基金资助课题 哈尔滨工业大学研究成果专著出版基金资助出版:本书共有八章，在概述微机电技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。
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诉讼案号：（2022）川01民初4401，（2022）川01民初4403，（2022）川01民初4403，（2022）川0191民初19351号， （2022）川0191民初19594号，（2022）川0191民初20457号，（2022）川0191民初20459号， （2023）川知民终373号，（2023）川知民终374号，（2023）川知民终375号， （2024）川0191民初15977号，（2024）川0191民初15979号，（2024）川0191民初15980号， （2024）川0191民初15981号，（2024）川0191民初15982号
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