硅锗超晶格及低维量子结构
作者: 盛篪等著
关键词: 超晶格半导体(学科: 半导体物理学 学科: 研究) 超晶格半导体 半导体物理学
页数:294
出版社: 上海:上海科学技术出版社
出版日期:
发现《硅锗超晶格及低维量子结构》在 2023-07-07 可全文阅读或下载。
图书简介
本书分别介绍了Si-xGex/Si体系的基本物理特性;Si分子束外延设备、实时监测分析技术及各种类型的Si-xGex/Si材料的外延生长技术等诸多内容。
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