微纳加工中的精密工件台技术
作者： 刘俊标，薛虹，顾文琪著
关键词： 超大规模集成电路-集成电路工艺-电子束光刻-设备
页数：278
出版社： 北京：北京工业大学出版社
出版日期：
发现《微纳加工中的精密工件台技术》在 2023-08-09 可全文阅读或下载。
图书简介
电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著:本书重点讲述微纳加工中的关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工作台提高加工精度和生产效率的有效方法。
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诉讼案号：（2022）川01民初4401，（2022）川01民初4403，（2022）川01民初4403，（2022）川0191民初19351号， （2022）川0191民初19594号，（2022）川0191民初20457号，（2022）川0191民初20459号， （2023）川知民终373号，（2023）川知民终374号，（2023）川知民终375号， （2024）川0191民初15977号，（2024）川0191民初15979号，（2024）川0191民初15980号， （2024）川0191民初15981号，（2024）川0191民初15982号
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