光学投影曝光微纳加工技术
作者： 姚汉民，胡松，邢廷文著
关键词： 光学投影系统-电子束光刻
页数：285
出版社： 北京：北京工业大学出版社
出版日期：
发现《光学投影曝光微纳加工技术》在 2023-07-08 可全文阅读或下载。
图书简介
国家科学技术学术著作出版基金资助:本书系统介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用和发展前景，详细介绍投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工件台、分辨力增强技术以及整机集成。
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诉讼案号：（2022）川01民初4401，（2022）川01民初4403，（2022）川01民初4403，（2022）川0191民初19351号， （2022）川0191民初19594号，（2022）川0191民初20457号，（2022）川0191民初20459号， （2023）川知民终373号，（2023）川知民终374号，（2023）川知民终375号， （2024）川0191民初15977号，（2024）川0191民初15979号，（2024）川0191民初15980号， （2024）川0191民初15981号，（2024）川0191民初15982号
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