聚焦离子束微纳加工技术
作者： 顾文琪，马向国，李文萍著
关键词： 离子束聚变装置-离子束加工
页数：344
出版社： 北京：北京工业大学出版社
出版日期：
发现《聚焦离子束微纳加工技术》在 2023-08-01 可全文阅读或下载。
图书简介
国家科学技术学术著作出版基金资助:本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。
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诉讼案号：（2022）川01民初4401，（2022）川01民初4403，（2022）川01民初4403，（2022）川0191民初19351号， （2022）川0191民初19594号，（2022）川0191民初20457号，（2022）川0191民初20459号， （2023）川知民终373号，（2023）川知民终374号，（2023）川知民终375号， （2024）川0191民初15977号，（2024）川0191民初15979号，（2024）川0191民初15980号， （2024）川0191民初15981号，（2024）川0191民初15982号
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