薄膜晶体管 TFT 阵列制造技术
删除本页内容作者:谷至华编著
ISBN:1978-7-309-05655-62
关键词:薄膜晶体管-制造
页数:411
出版社: 上海：复旦大学出版社
出版日期:2007.09
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本具体介绍了：TFT-LCD生产线建设、技术管理系统、TFT阵列制造的主要设备、TFT制造工艺小结与技术展望等方面的内容。
薄膜晶体管-制造
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