半导体器件典型缺陷分析和图例
删除本页内容作者:张延伟主编
关键词:半导体器件-缺陷-分析
页数:204
出版社: 北京：中国科学技术出版社
出版日期:2004.06
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本书主要论述了如何对半导体器件内部、外部缺陷进行观察判断，并对相关经验进行了总结。
半导体器件-缺陷-分析
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