光电材料及光波导探测器的设计与研制
删除本页内容作者:刘淑平著
关键词:半导体材料-生产工艺-半导体材料-晶体结构-结构分析
页数:124
出版社: 北京：兵器工业出版社
出版日期:2003.04
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本书详细而全面地介绍了半导体材料Ge、Si的晶体结构及其工艺方法，为波导器件与探测器的集成化奠定了一定的设计理论基础。
半导体材料-生产工艺-半导体材料-晶体结构-结构分析
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