微机电系统（MEMS）原理、设计和分析
丛书： 青年学术文库
作者： 田文超著
ISBN：978-7-5606-2223-1
关键词： 微电机
页数：250
出版社： 西安：西安电子科技大学出版社
出版日期：
发现《微机电系统（MEMS）原理、设计和分析》在 2025-08-14 可全文阅读或下载。
图书简介
本书系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、微机电系统模块仿真。
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诉讼案号：（2022）川01民初4401，（2022）川01民初4403，（2022）川01民初4403，（2022）川0191民初19351号， （2022）川0191民初19594号，（2022）川0191民初20457号，（2022）川0191民初20459号， （2023）川知民终373号，（2023）川知民终374号，（2023）川知民终375号， （2024）川0191民初15977号，（2024）川0191民初15979号，（2024）川0191民初15980号， （2024）川0191民初15981号，（2024）川0191民初15982号
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