微机电系统（MEMS）原理、设计和分析
删除本页内容丛书:青年学术文库
作者:田文超著
ISBN:1978-7-5606-2223-12
关键词:微电机
页数:250
出版社: 西安：西安电子科技大学出版社
出版日期:2009.05
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本书系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、微机电系统模块仿真。
微电机
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