集成电路掩膜技术
作者： D. J. 埃利奥特著；宋柏泉等译
ISBN：7-313-00965-8
关键词： 集成电路工艺-掩膜-技术-掩膜-集成电路工艺-技术
页数：240
出版社： 上海：上海交通大学出版社
出版日期：
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图书简介
本书包括掩膜版玻璃基板制备、图形设计和数据产生、涂敷、刻蚀成像、图形测量、质量控制、生产技术等。
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诉讼案号：（2022）川01民初4401，（2022）川01民初4403，（2022）川01民初4403，（2022）川0191民初19351号， （2022）川0191民初19594号，（2022）川0191民初20457号，（2022）川0191民初20459号， （2023）川知民终373号，（2023）川知民终374号，（2023）川知民终375号， （2024）川0191民初15977号，（2024）川0191民初15979号，（2024）川0191民初15980号， （2024）川0191民初15981号，（2024）川0191民初15982号
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