集成电路制造技术
丛书： 前沿电子信息专业教材系列
作者： 张亚非，段力编著
ISBN：978-7-313-18651-5
关键词： 集成电路工艺
页数：439
出版社： 上海：上海交通大学出版社
出版日期：
发现《集成电路制造技术》在 2025-11-02 可全文阅读或下载。
图书简介
本书主要讲述集成电路与微纳制造工艺技术；既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况的介绍。本书把集成电路的工艺技术分类为图形化（光刻）、加法（薄膜的技术）、减法（刻蚀技术）、乘除法（离子注入、SILICIDE）及其集成电路工程学（梁率、可靠性）和集成电路后勤工作（超净间、IC衍生产业链）几大类，便于学生掌握、记忆和类推。
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诉讼案号：（2022）川01民初4401，（2022）川01民初4403，（2022）川01民初4403，（2022）川0191民初19351号， （2022）川0191民初19594号，（2022）川0191民初20457号，（2022）川0191民初20459号， （2023）川知民终373号，（2023）川知民终374号，（2023）川知民终375号， （2024）川0191民初15977号，（2024）川0191民初15979号，（2024）川0191民初15980号， （2024）川0191民初15981号，（2024）川0191民初15982号
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