硅MEMS工艺与设备基础
作者： 阮勇，尤政编著
关键词： 硅基材料－纳米材料－应用－微机电系统
页数：463
出版社： 北京:国防工业出版社,2018.12
出版日期：
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图书简介
硅MEMS工艺与设备基础
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诉讼案号：（2022）川01民初4401，（2022）川01民初4403，（2022）川01民初4403，（2022）川0191民初19351号， （2022）川0191民初19594号，（2022）川0191民初20457号，（2022）川0191民初20459号， （2023）川知民终373号，（2023）川知民终374号，（2023）川知民终375号， （2024）川0191民初15977号，（2024）川0191民初15979号，（2024）川0191民初15980号， （2024）川0191民初15981号，（2024）川0191民初15982号
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