电子薄膜工艺原理
作者： 张怀武，金懋昌
ISBN：978-7-5647-8889-6
关键词： 电子材料-薄膜
页数：368
出版社： 成都：电子科技大学出版社
出版日期：
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图书简介
本书汇集了作者几十年来在电子薄膜生长制备方面的实践经验和技术积累，首先对薄膜生长的机理与机制性问题，如气体分子运动规律、吸附现象、等离体理论、衬底表面张应力与附着力、表面与界面物理化学处理机制、薄膜生长应力机制等方面进行了论述和分析，给出一些实例和分析手段，其次对电子薄膜生长制备技术中真空背景环境的获得，包括不同真空泵的原理和获得高真空度的方法等做了详尽介绍和分析。
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诉讼案号：（2022）川01民初4401，（2022）川01民初4403，（2022）川01民初4403，（2022）川0191民初19351号， （2022）川0191民初19594号，（2022）川0191民初20457号，（2022）川0191民初20459号， （2023）川知民终373号，（2023）川知民终374号，（2023）川知民终375号， （2024）川0191民初15977号，（2024）川0191民初15979号，（2024）川0191民初15980号， （2024）川0191民初15981号，（2024）川0191民初15982号
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