微电机结构工艺学
作者： 张子忠编
ISBN：7-5603-0080-4
关键词： 微电机-工艺学 工艺学-微电机
页数：291
出版社： 哈尔滨：哈尔滨工业大学出版社
出版日期：
发现《微电机结构工艺学》在 2025-10-29 可全文阅读或下载。
图书简介
本书主要介绍微电机的结构、制造工艺和结构工艺性等问题。
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诉讼案号：（2022）川01民初4401，（2022）川01民初4403，（2022）川01民初4403，（2022）川0191民初19351号， （2022）川0191民初19594号，（2022）川0191民初20457号，（2022）川0191民初20459号， （2023）川知民终373号，（2023）川知民终374号，（2023）川知民终375号， （2024）川0191民初15977号，（2024）川0191民初15979号，（2024）川0191民初15980号， （2024）川0191民初15981号，（2024）川0191民初15982号
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